2026
10-09
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俄罗斯130nm光刻机完成验收：制造成本达650万美元 NEW
快科技10月9日消息，据CNews报道，俄罗斯已完成用于生产130纳米制程光刻机的第三阶段设计验收工作，该阶段验收证书已于2026年8月7日签署。该130nm分辨率光刻机由“泽列诺格勒纳米技术中心”（Zelenograd Nano Technology Center，ZNTC）与白俄罗斯“普拉纳尔”（Planar）公司合作开发，主要用于将集成电路拓扑图形投影转移到直径200毫米（8英寸）的半导体晶圆上，并在制造超大规模集成电路（VLSI）时进行多重投影复制，设计制程为130纳...
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