202508-09 攻克7nm指日可待!国产第500台步进光刻机成功交付 NEW 快科技8月9日消息,毫无疑问,我国正在发力光刻机,而先进制程的7nm工艺早晚会被攻克,目前全产业链都在集体发力。据上海芯上微装科技股份有限公司(简称“芯上微装”或“AMIES”)发布公告,公司昨天举办了第500台步进光刻机交付仪式,这标志着我国高端半导体装备产业迈上新的台阶。芯上微装称,先进封装光刻机是AMIES的拳头产品,具备高分辨率、高套刻精度、超大曝光视场等显著特点,具有强大的翘曲和厚胶处理能力,可根据客户的具体工艺需求灵活配置设备。该类产品能够满足Flip-chip、... Read More >