EUV光刻机

2025
02-26

世界最先进EUV光刻机开工！Intel已产3万块晶圆 14A工艺就用它 NEW

快科技2月26日消息，ASML Twinscan EXE:5000 EUV是当今世界上最先进的EUV极紫外光刻机，支持High-NA也就是高孔径，Intel去年抢先拿下了第一台，目前已经在俄勒冈州Fab D1晶圆厂安装部署了两台，正在紧张地研究测试中。Intel资深首席工程师Steve Carson透露，迄今为止，两台EUV光刻机已经生产了3万块晶圆，当然不算很多，但别忘了这只是测试和研究使用的，并非商用量产，足以证明Intel对于新光刻机是多么的重视。Steve Carso... Read More >

2024
10-10

27亿一台！ASML展示最新EUV光刻机内部画面：不怕被偷师嘛 NEW

快科技10月10日消息，ASML新任CEO近日公开表示，两台High NA EUV光刻机（单台设备的售价约为3.5亿美元）已经在英特尔安装完成了。作为目前全球最先进，也是最贵的光刻机，ASML宝石，High NA EUV光刻机不太可能像最初的EUV光刻机那样出现延迟。“我们只能期待它相对快速地推出和采用，因为High NA EUV光刻机更像是EUV光刻机的“升级款”，而不是一个全新的产品。”有趣的是，台积电以成本为由，迟迟不肯接受High NA。在外界看来，这有点像台积电的谈... Read More >

2024
06-30

台积电两年将接收至少60台EUV光刻机：投入超过123亿美元 NEW

快科技6月30日消息，据媒体报道，台积电正全力以赴，加速安装对2nm工艺量产至关重要的EUV光刻机。为了满足这一高端生产需求，台积电计划在今明两年接收超过60台EUV光刻机，预计投资总额将超过123亿美元（折合人民币约894亿元）。随着ASML（阿斯麦）公司产能的持续扩大，预计到2025年，EUV光刻机的交付量将实现30%以上的显著增长。作为这一趋势的直接受益者，台积电正紧锣密鼓地准备迎接这一供应潮。据了解，ASML去年为满足市场需求已计划增产，预计今年将交付53台EUV光刻... Read More >

2022
09-28

售价25亿的“电老虎” 下代EUV光刻机功耗飙到200万瓦

随着半导体工艺进入7nm以内，EUV光刻机是必不可少的关键设备，全球只有ASML公司能生产，现在NA 0.33孔径的EUV光刻机售价高达1.5亿美元，约合10亿一台，不过下一代会更贵。光刻机制造芯片的关键指标就是光刻分辨率，其中镜头的NA数值孔径越大越好，现在NA 0.33孔径的EUV光刻机能够量产3nm、2nm工艺，再往后就需要NA 0.55孔径的下一代光刻机，也就是High NA EUV，制造2nm以下的工艺必需。High NA EUV预计在明年开始出样机给客户，这一次I... Read More >

2021
03-17

ASML揭秘1.2亿美元一台的EUV光刻机：10万零部件、配送时间两年

荷兰ASML（阿斯麦）是全球唯一的EUV光刻机制造商，中芯国际的7nm工艺虽然已经技术开发完成，但目前卡脖子的最关键一环就是买不到EUV。在最新的媒体交流活动中，ASML技术开发副总裁Tony Yen披露了一些EUV光刻机不为人知的细节。EUV即极紫外光刻，它是借助13.5nm波长极紫外光在硅晶圆上蚀刻数十亿规模的微缩结构。按照Yen的说法，当前ASML的EUV光刻机单台售价1.2亿美元(约合7.8亿元)左右，由超过10万个精密零部件组成。Yen笑着表示，买我们的EUV光刻机... Read More >

2020
08-28

台积电买下市场上50%的EUV光刻机 贡献了60%的产能

在本周召开的台积电技术研讨会上，最重要的中心信息之一是，该公司在半导体制造领域处于世界领先地位，特别是在领先的工艺技术领域。为进一步传达信息，台积电展示了一张幻灯片，指出了它与其他产品的相对位置：通过结合ASML的声明和自己的内部采购单，台积电预测他们已安装了全世界约约50％的激活EUV机器。除此之外，该公司还拥有约60％的EUV晶圆累计生产量。大型晶圆厂目前已知的公开EUV工艺包括TSMC的7+和N5，以及三星的7LPP（及以下任何产品），英特尔的EUV努力仅在明年进入其自... Read More >