202502-01 支持后2nm工艺时代!ASML将发货最新EUV光刻机EXE:5200 英特尔是买家 NEW 快科技2月1日消息,据国外媒体报道称,ASML已经确认,即将出货最新款的EUV光刻机EXE:5200,相比上代来说,表现更加强悍,当然不会卖给中国厂商。按照官方的说法,EXE:5200是现有初代High NA EUV光刻机EXE:5000的改进款,其将拥有更高的晶圆吞吐量(EXE:5000为每小时185片以上),可以更好的为2nm工艺量产做支撑。在这之前,ASML宣布英特尔订购了业界首个TWINSCAN EXE:5200光刻机(一种具有高数值孔径和每小时 200 多片晶圆的极... Read More >