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首页 > NA EUV光刻机

NA EUV光刻机

2022
09-23

ASML拼命研制的新款高NA EUV光刻机:或是最后一代 NEW

zhiyongz 科学 围观12347次 0 条评论
ASML拼命研制的新款高NA EUV光刻机:或是最后一代ASML一直处于高度戒备状态。去年,该公司两次提高了生产目标:它希望到 2025 年出货约 600 台 DUV 和 90 台 EUV 光刻机,而去年分别为不到 200 台和 35 台。ASML很典型的一周是,数百人在 Veldhoven 开始他们的新工作。由于持续的芯片短缺,交付问题每天都在发生。更不用说像今年年初柏林工厂发生火灾这样的挫折,导致 EUV 晶圆夹具的生产暂时瘫痪。尽管如此,Martin van den Brink(编者注:ASML首席技术官)还是很满足和放松的... Read More >
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