2026
04-07
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光刻机冷却材料氦气供应紧张 Intel不怕卡脖子：背靠美国好乘凉 NEW
快科技4月6日消息，最近中东地区的战乱局势开始对全球造成影响，主要是能源方面的，但半导体行业也会深受其害，这跟一个重要材料氦气有关。半导体工艺极为复杂，需要用到多种特种气体，氦气就是其中用量较大也很重要的一种，它的沸点低至-268.9℃，是自然界中最难液化的物质，具备极强的化学稳定性、导热性与渗透性。在半导体生产过程中，光刻机及离子注入机都需要用氦气冷却，还是晶圆清洗、蚀刻工艺中的保护气体，对稳定生产很重要。根据Yolo的数据，3-7nm工艺的晶圆每片生产需要120升氦气，3...
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