2025
08-19
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中国刻刀来了！首台国产商业电子束光刻机“羲之”出炉：和EUV光刻机有何区别 NEW
快科技8月17日消息，据国内媒体报道，近日，全国首台国产商业电子束光刻机在杭州“出炉”，其精度比肩国际主流设备，标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀”。在杭州城西科创大走廊的浙江大学成果转化基地测试现场，一台模样酷似大型钢柜的机器正在做应用测试，电子显示屏上不断闪烁着实时参数。团队负责人表示，这不是普通的机器，而是一支能在头发丝上雕刻出整座城市地图的“纳米神笔”。依托省重点实验室，这台研究院自主研发的新一代100kV电子束光刻机“羲之”已正式投入市场。据了解，“羲之”取名自书...
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